發(fā)布時(shí)間：2022年05月24日 18時(shí)08分53秒

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　　目前，大多數(shù)模型都是由硅制成的，但研究人員現(xiàn)在已經(jīng)將注意力轉(zhuǎn)向石墨烯，因?yàn)樗赡苁且环N功能更多的材料。基于石墨烯和復(fù)合氧化物的下一代壓力傳感器目前還處于研發(fā)階段石墨烯是柔性的，非常穩(wěn)定，并且具有很高的抗拉強(qiáng)度。加上它的氣密性，這些特性解釋了為什么它逐漸被視為下一代壓力傳感器的基礎(chǔ)材料。

　　今天的微機(jī)電壓力傳感器的尺寸大約為幾毫米。傳感器本身基本上由一個(gè)硅腔組成，硅腔上覆硅膜密封。內(nèi)外表面之間的壓力差會導(dǎo)致石墨烯薄膜變形，這會改變薄膜和空腔之間的電容，測量該參數(shù)就可以得到壓力差。

　　盡管石墨烯有可能取代硅成為下一代壓力傳感器中的基礎(chǔ)材料，但研究表明，石墨烯薄膜與基板的不完全粘附會導(dǎo)致氣體泄漏到腔體中。石墨烯屬于范德華材料，它具有高度穩(wěn)定的原子結(jié)構(gòu)，這使得在材料中引入化學(xué)修正變得非常地困難。

　　復(fù)雜鈣鈦礦結(jié)構(gòu)氧化物的獨(dú)立單晶提供了一種可能的解決方案，因此作為下一代壓力傳感器中石墨烯的潛在替代品具有很大的吸引力。它的厚度與單層石墨烯大致相同，并且表現(xiàn)出相似的柔韌性和強(qiáng)度。

　　幾乎現(xiàn)在所有的智能電子產(chǎn)品都配有壓力傳感器。其作用是為了可靠地探測最小的壓力差，而這些微傳感器中的石墨烯膜腔必須密封，需要達(dá)到非常高的生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)，因?yàn)槟け仨毦o密地粘貼在腔上。而壓力傳感器為我們提供了較豐富的信息，它告訴我們一天中我們上下樓梯走了多少步，以及我們登山達(dá)到的海拔高度。而微型壓力傳感器在工業(yè)領(lǐng)域中也有著非常廣泛的應(yīng)用。

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