發(fā)布時間：2022年04月19日 18時52分50秒

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　　MEMS進氣壓力傳感器具有結(jié)構(gòu)堅固，抗震性好、尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應(yīng)恢復(fù)快、驅(qū)動電路簡單、穩(wěn)定性好、壽命長等特點。可檢測包含燃氣、煙霧、氫氣、一氧化碳、氨氣、硫化氫、酒精、口氣、VOC等多種氣體。

　　MEMS進氣壓力傳感器是基于MEMS工藝的基微熱板和清潔空氣中低導(dǎo)電的金屬氧化物半導(dǎo)體材料組成。當環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時，傳感器的電導(dǎo)率發(fā)生變化，該氣體的濃度越高，傳感器的電導(dǎo)率就越高。使用簡單的電路即可將電導(dǎo)率的變化轉(zhuǎn)換為與該氣體濃度相對應(yīng)的輸出信號。

　　熱電堆溫度傳感器是基于MEMS技術(shù)，其主要是由數(shù)百對熱電偶串聯(lián)而成。它采用的是塞貝克原理，當目標與環(huán)境之間存在溫度差時，這時傳感器輸出對應(yīng)的電壓來檢測出目標存在或目標的溫度等。

　　熱電堆溫度傳感器具有高紅外響應(yīng)率和高重復(fù)性以及高可靠和穩(wěn)定性等特點。它在額溫/耳溫等非接觸體溫測量、家用電器(空調(diào)、護發(fā)吹風機、油煙機等)溫度測量與控制以及空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)、電力管理系統(tǒng)等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

　　微流量傳感器采用新一代MEMS進氣壓力傳感器芯片技術(shù)、它是利用熱力學原理檢測對流通道中氣體介質(zhì)的流動，具有良好的精度和重復(fù)性。可精確測量極小流量，精度高，響應(yīng)速度快，重復(fù)性好，經(jīng)過完全校準和溫度補償，同時具有線性模擬電壓輸出，方便使用。

　　微流量傳感器在醫(yī)療儀器(呼吸機、氧氣機等)、便攜式儀器、工業(yè)過程控制及空氣和環(huán)境保護等領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。塑封壓力傳感器采用的是高精度MEMS進氣壓力敏感芯片及成熟的生產(chǎn)工藝封裝而成的傳感器。它具有尺寸小、精度高、寬工作溫度范圍、常溫高精度等特點。

　　MEMS塑封壓力傳感器常被應(yīng)用于手持胎壓計、電子血壓計、空壓表、汽車胎壓檢測、過程控制系統(tǒng)、壓力校準儀器、高度計、大氣壓力測量等領(lǐng)域。MEMS進氣壓力傳感器在物聯(lián)網(wǎng)、智能制造、智能物流等方面起著非常重要的作用。近年來，國家傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展的政策環(huán)境持續(xù)優(yōu)化，隨著“制造強國戰(zhàn)略”、“互聯(lián)網(wǎng)+”行動計劃的大力推進，傳感器技術(shù)及傳感器產(chǎn)業(yè)的重要性將日益凸顯，可以預(yù)見，未來傳感器技術(shù)將是我國科技發(fā)展的重中之重!

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